基于双波长干涉的大量程高精度加速度测量系统与测量方法

摘要

本发明公开了一种基于双波长干涉的大量程高精度加速度测量系统与测量方法。所述系统主要由两个波长差为Δλ的激光器、一个偏振分光棱镜、两个分光棱镜、四个四分之一波片、一个平面反射镜、两个偏振片、一个超窄带滤波片、四个高灵敏度光电探测器、一个表面镀膜的压电陶瓷块、一个由敏感质量块、悬臂梁和基底构成的敏感结构、信号发生器、信号处理电路及上位机组成。本发明利用双波长产生的合成波长干涉信号提升加速度测量系统的测量量程，解决了高灵敏度加速度计的相位模糊问题，同时利用超窄带滤波片采得单波长干涉信号，并引入了相位调制解调技术，在扩大测量量程的同时保证系统拥有单波长干涉测量的高精度。