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用于神光Ⅱ高功率激光装置的氘气提纯装置及其提纯方法

摘要

本发明公开了一种用于神光Ⅱ高功率激光装置的氘气提纯装置,该氘气提纯装置包括氘气进入系统,氘气抽出系统和真空机组,氘气进入系统包括氘气源、靶室外进气管道、双向截止阀I、双向截止阀Ⅱ、靶室内通气管道、靶体,氘气抽出系统包括靶室内通气管道、双向截止阀Ⅲ、靶室外抽气管道,真空机组包括外壳,外壳中设有上层腔室和下层腔室,在下层腔室中设有机械泵、上层腔室中设有分子泵,外壳上端面上设有真空腔,本发明完成一次置换过程(1次充气和抽气)一般可控制在10分钟内,根据实际需要还可以降低,本发明可以将氘气总体置换时间(6‑7次的充气和抽气)控制在1小时以内,从时间上看,大大降低了实验成本。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-09-10

    授权

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  • 2018-07-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):C01B4/00 申请日:20171226

    实质审查的生效

  • 2018-07-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):C01B4/00 申请日:20171226

    实质审查的生效

  • 2018-06-15

    公开

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  • 2018-06-15

    公开

    公开

  • 2018-06-15

    公开

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