一种测试磁性材料的铁磁共振线宽面内分布的方法及系统

摘要

本发明公开了一种测试磁性材料铁磁共振线宽面内分布的方法及系统，涉及磁性材料参数测试技术领域。本发明能够克服现有技术中微波探针尖端在测试磁性材料中形成微波磁场很弱的缺点，本发明通过增强微波探针的尖端在磁性材料中形成的微波磁场，使得矢量网络分析仪获得更强的返回信号，进而能够用于测试更薄的磁性薄膜的铁磁共振线宽；本发明能够通过分析磁性薄膜样品各区域的铁磁共振线宽的差异进一步反映磁性薄膜的均匀性，相比于传统的光学测试方法具有快速、简便的优势。