坩埚盖、坩埚盖组件、蒸发源、蒸镀方法

摘要

本发明提供一种坩埚盖、坩埚盖组件、蒸发源、蒸镀方法，属于蒸镀技术领域，其可至少部分解决现有的蒸镀技术中喷嘴容易被堵塞的问题。本发明的坩埚盖包括用于盖住蒸镀坩埚的开口的盖体，所述盖体上具有用于与喷嘴连接的通孔；且，所述盖体内部具有封闭的空腔，所述空腔中设有用于进行加热的加热器件和固态的盐，所述加热器件的加热温度能使所述盐熔融。