一种由叠堆压电陶瓷驱动的MEMS微结构四轴式底座激励装置

摘要

本发明公开了一种由叠堆压电陶瓷驱动的MEMS微结构四轴式底座激励装置，包括套筒，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块，钢球以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒两端分别设有环形顶板和底板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在环形顶板和底板之间均布有导向轴，下联接块外缘均布有导向支臂且分别由套筒壁上穿过并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上联接块和下联接块上分别设有锥形凹槽和球面凹槽；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间。该装置能够对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，同时使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。