一种提高铁电阻变存储器开关电流比的方法

摘要

本发明属于电学量调整技术领域，涉及一种提高铁电阻变存储器开关电流比的方法；基于金属/铁电体/金属结构的铁电阻变存储器的主体结构包括：基底、底电极、掺杂铁电体薄膜和顶电极四个自下而上依次罗列的层体；底电极在基底上制备形成，掺杂铁电体薄膜在底电极上制备形成，顶电极在掺杂铁电体薄膜上制备形成；通过施主掺杂来提高铁电极化翻转对器件电流的调控能力，增强铁电极化对铁电体和电极界面肖特基势垒的调控能力，有效控制铁电阻变存储器的输运特性，从而提高开关电流比，实现提高开关电流比的功效；其设计原理可靠，制备工艺简单，储存器性能稳定，提高开关比电流能力强，易于控制，应用环境友好。