公开/公告号CN100345033C
专利类型发明授权
公开/公告日2007-10-24
原文格式PDF
申请/专利权人 LG.菲利浦LCD株式会社;
申请/专利号CN200410055714.9
发明设计人 金弘烈;
申请日2004-08-04
分类号G02F1/133(20060101);H01L21/00(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人李辉
地址 韩国首尔
入库时间 2022-08-23 08:59:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-10-03
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02F1/133 授权公告日:20071024 终止日期:20110804 申请日:20040804
专利权的终止
2012-10-03
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02F 1/133 授权公告日:20071024 终止日期:20110804 申请日:20040804
专利权的终止
2008-07-09
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 变更前: 变更后: 申请日:20040804
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2008-07-09
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 变更前: 变更后: 申请日:20040804
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2007-10-24
授权
授权
2007-10-24
授权
授权
2005-07-06
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-07-06
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-05-04
公开
公开
2005-05-04
公开
公开
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机译： 基座，其制造方法以及包括该基座的基板处理设备，能够快速冷却加热器和由加热器加热的基座
机译： 用于沉积工艺设备的基座及其制造加热器的方法
机译： 用于沉积工艺设备的基座以及在其中制造加热器的方法
