一种光学薄膜超宽带光学常数测试方法

摘要

本发明公开了一种光学薄膜超宽带光学常数的测试方法，用于计算光学薄膜材料在可见光到红外波段的全谱段光学常数，尤其是针对0.3um‑20um波长范围内，通过使用基底‑薄膜透明区的光谱透射率和非透明区的光谱反射率相复合作为目标光谱，以振荡子模型作为光学常数的色散模型，通过目标光谱数据反演计算出薄膜的超宽带光学常数。本方法对于薄膜材料具有普适性。