一种大口径光学系统的波前误差检测方法及检测系统

摘要

本申请公开了一种大口径光学系统的波前误差检测方法及检测系统，在获知大口径光学系统的焦距参数的前提下，包括步骤：S100、开启PSM装置的点光源模式，控制机械臂移动PSM装置至大口径光学系统的反射镜的中心轴线上且靠近反射镜的曲率中心位置，使反射镜曲率中心位于PSM装置的视场内，确定反射镜曲率中心的位置；S200、将激光跟踪仪靶球定位于反射镜曲率中心，利用激光跟踪仪与激光跟踪仪靶球确定反射镜曲率中心的三维空间位置信息；S300、根据反射镜的曲率中心的三维空间位置信息移动激光干涉仪至反射镜的待测位置，通过激光干涉仪获取反射镜的波前误差。该方法减小了人工参与程度，提高了检测精度和效率。