一种磁性隧道结顶电极连接孔的形成方法

摘要

本发明提供了一种磁性隧道结顶电极连接孔的形成方法，步骤如下：S1.提供包括底电极、第一电介质层、MTJ结构单元，钽顶电极的衬底；步骤S2.采用氮化硅填充衬底剩余部分；S3.磨平氮化硅直到钽顶电极；S4.沉积氧化硅膜层、顶电极连接孔刻蚀阻挡层和第二电介质层；S5.图形化转移顶电极连接孔图案到第二电介质层；S6.刻蚀所述第二电介质层，并去掉在图形化转移过程中残留的有机物，使图案转移到所述刻蚀阻挡层；S7.对刻蚀阻挡层进行刻蚀；S8.刻蚀氧化硅层；S9.去掉残留的有机物；S10.在顶电极连接孔内壁形成扩散阻止层；S11.采用铜填充顶电极连接孔，并采用化学机械抛光的方法磨平填充物。