公开/公告号CN107364851B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-16
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院金属研究所;
申请/专利号CN201611065371.3
申请日2016-11-28
分类号C01B32/194(20170101);H01L51/56(20060101);H01L51/48(20060101);H01L51/44(20060101);H01L51/52(20060101);
代理机构21234 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张志伟
地址 110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
入库时间 2022-08-23 10:38:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-16
授权
授权
2017-12-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C01B32/194 申请日:20161128
实质审查的生效
2017-12-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 32/194 申请日:20161128
实质审查的生效
2017-11-21
公开
公开
2017-11-21
公开
公开
2017-11-21
公开
公开
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