法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-13
授权
授权
2019-03-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 15/00 申请日:20181211
实质审查的生效
2019-03-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 15/00 申请日:20181211
实质审查的生效
2019-03-01
公开
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2019-03-01
公开
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2019-03-01
公开
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机译: 适用于形成图案的重复性曝光的投影曝光设备,一种使用其的投影曝光方法,一种制造曝光成员的方法以及一种包括曝光模式列的半导体装置
机译: 一种用于凸凹胶片的彩色投影的方法和装置,在该方法和装置上,对物体的每个点或条通过多个相应的其他颜色对应的点或条进行成像
机译: 的方法,用于在怀孕或有微小的lichtbrechenden元素ueberzogenen膜的网格下投影的彩色颜料的投影方法,该颜色在betraechtlicher vergroesserung下出现有色的点和线,条件是分配颜色对称性以消除