公开/公告号CN105794055B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201480066424.6
发明设计人 A·A·尼基佩洛夫;V·Y·巴宁;P·W·H·德加格;G·C·德维雷斯;O·W·V·弗雷杰恩斯;L·A·G·格里敏克;A·卡特勒尼克;J·A·G·阿克曼斯;E·R·洛普斯特拉;W·J·恩格伦;P·R·巴特莱杰;T·J·科南;W·P·E·M·奥普特鲁特;
申请日2014-11-27
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 10:36:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-30
授权
授权
2017-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S3/09 申请日:20141127
实质审查的生效
2017-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 3/09 申请日:20141127
实质审查的生效
2016-07-20
公开
公开
2016-07-20
公开
公开
机译: 电子注入器,自由电子激光器,光刻系统,电子束产生方法和放射线产生方法
机译: 电子注入器,自由电子激光器,光刻系统,电子束产生方法和放射线产生方法
机译: 电子注入器和自由电子激光器