一种用于等离子体发生器的气冷装置和等离子体发生器

摘要

本发明涉及一种用于等离子体发生器的气冷装置和等离子体发生器。所述气冷装置包括气冷装置本体和用于安装等离子体发生器的放电管的安装腔，气冷装置本体包括内壳和外壳，安装腔由内壳的内壁面围设而成；外壳与内壳之间具有空腔，空腔形成冷却气腔；外壳上设置有至少一个用于供冷却气进入冷却气腔的进气孔，内壳以及气冷装置本体的一个端部或两个端部上设置有多个用于将冷却气腔内的冷却气排出的喷气孔，多个喷气孔的开口轴线相对安装腔的轴线方向分别呈不同的角度设置，使得从多个喷气孔排出的冷却气能够以不同的角度排向放电管的不同位置。本发明中的气冷装置冷却效率高、冷却均匀，能保证等离子体发生器高效、平稳地运行。