一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器及其制备方法，该制备方法包括：将压电陶瓷衬底切割成多个换能器阵元，形成换能器阵列；所述换能器阵元的宽度和间隔为20‑100μm，切割深度为50‑300μm；在换能器阵列一侧进行切割，获得底电极共面电连接槽；底电极共面电连接槽宽度为20‑300μm；在换能器阵元之间灌胶，在底电极共面电连接槽内灌导电胶；制备底电极；与底电极相对的压电陶瓷面进行厚度减薄处理，使压电陶瓷厚度降低为50‑200μm；制备上电极及底电极连接面；将换能器阵列分割，形成多个单个超声线性相控阵列换能器；对换能器引线键合；封装，灌注匹配层。本发明提供的换能器检测分辨率高、探测深度大，可用于微尺度特征结构的超声检测。