公开/公告号CN106449683B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-28
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201610884650.6
申请日2016-10-10
分类号H01L27/146(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2022-08-23 10:35:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-28
授权
授权
2017-03-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/146 申请日:20161010
实质审查的生效
2017-03-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/146 申请日:20161010
实质审查的生效
2017-02-22
公开
公开
2017-02-22
公开
公开
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