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压电元件、压电元件应用器件以及压电元件的制造方法

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摘要

本发明的目的在于提供一种对于施加电压的位移的线性优良的压电元件、压电元件应用器件以及压电元件的制造方法。上述压电元件是具备形成在基板(10)上的第一电极(60)、形成在上述第一电极(60)上且包括由下述式(1)表示的ABO

1. 压电元件、压电元件应用器件以及压电元件的制造方法 [P] . 中国专利： CN106025059B . 2020.03.31
2. 压电元件、压电元件应用器件以及压电元件的制造方法 [P] . 中国专利： CN105990514A . 2016-10-05
3. Piezoelectric elements, piezoelectric element application devices, and methods for manufacturing piezoelectric elements [P] . JP6866662B2 . 2021-04-28

机译：压电元件，压电元件应用装置和制造压电元件的方法
4. PIEZOELECTRIC ELEMENT, PIEZOELECTRIC ELEMENT APPLICATION DEVICE, AND METHOD OF MANUFACTURING PIEZOELECTRIC ELEMENT [P] . 美国专利： US2020035905A1 . 2020-01-30

机译：压电元件，压电元件应用装置以及制造压电元件的方法
5. PIEZOELECTRIC ELEMENT, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND PIEZOELECTRIC ELEMENT-APPLIED DEVICE [P] . 美国专利： US2019019941A1 . 2019-01-17

机译：压电元件，制造该压电元件的方法以及压电元件应用的装置