以ZrTi基合金为缓冲层的透明导电复合薄膜及其制备方法和应用

摘要

本发明具体涉及一种以ZrTi基非晶合金为缓冲层的透明导电复合薄膜及其制备方法和应用，属于导电薄膜技术领域。本发明所述透明导电复合薄膜包括非晶态合金薄膜插入层和透明薄膜层，其中，所述非晶态合金薄膜插入层通过沉积形成于玻璃衬底层上，所述透明薄膜层通过沉积形成于非晶态合金薄膜插入层上。本发明通过在透明薄膜与玻璃衬底之间引入非晶态合金层形成双层结构透明导电薄膜，在保持薄膜具有良好导电性的前提下，同时也提高薄膜了在可见区及近红外光区的透光率。