公开/公告号CN106145952B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-11
原文格式PDF
申请/专利权人 隆科电子(惠阳)有限公司;
申请/专利号CN201510129090.9
申请日2015-03-23
分类号
代理机构广州三环专利商标代理有限公司;
代理人章兰芳
地址 516221 广东省惠州市惠阳区秋长镇金秋大道
入库时间 2022-08-23 10:34:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-11
授权
授权
2016-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):C04B35/565 申请日:20150323
实质审查的生效
2016-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/565 申请日:20150323
实质审查的生效
2016-11-23
公开
公开
2016-11-23
公开
公开
机译: 单晶碳化硅基体的表面平整方法,单晶碳化硅基体的制备方法以及单晶碳化硅基体
机译: 单晶碳化硅的液相增长曲线法,单晶碳化硅基体的制备方法以及单晶碳化硅基体
机译: 用该方法制造碳化硅基质,肖特基势垒二极管和碳化硅膜及碳化硅基质的制备方法