金刚石表面的研磨方法及实施该研磨方法的装置

摘要

本发明的课题在于提供一种研磨方法，其在利用含有金属或金属氧化物的研磨部件对被研磨物的金刚石表面进行研磨的方法中，解决引起研磨不均或基材露出的问题，不会对被研磨物的形状、金刚石的结晶尺寸造成影响地实现均匀的研磨。本发明的金刚石表面的研磨方法通过使至少含有金属或金属氧化物的所谓线状或者带状的长条形状的研磨部件揉搓其表面由金刚石形成的被研磨物从而进行研磨，该金刚石表面研磨方法的特征在于，根据揉搓部的所述研磨部件的材质和/或所述被研磨物的形状、金刚石的结晶尺寸，对所述研磨部件的按压力进行控制，以使得加工区域的接触面压力均匀。