基于从标准参考图像确定的属性的缺陷检测及分类

摘要

本发明提供用于对在晶片上检测到的缺陷进行分类的系统及方法。一种方法包含基于由检验系统针对晶片产生的输出来检测所述晶片上的缺陷。所述方法还包含基于对应于所述缺陷中的至少一者的标准参考图像的部分来确定所述缺陷中的所述至少一者的一或多个属性。所述方法进一步包含至少部分基于所述一或多个经确定的属性来对所述缺陷中的所述至少一者进行分类。