法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-31
授权
授权
2018-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L35/18 申请日:20171220
实质审查的生效
2018-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 35/18 申请日:20171220
实质审查的生效
2018-05-22
公开
公开
2018-05-22
公开
公开
2018-05-22
公开
公开
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机译: 通过该制造方法制造的硅纳米晶材料和该硅纳米晶材料的制造方法
机译: CVD纳米晶硅热电材料
机译: CVD纳米晶硅热电材料