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掺铈氧化锌纳米纤维QCM湿度传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种掺铈氧化锌纳米纤维石英晶体微天平湿度传感器及其制备方法,该湿度传感器以电纺掺铈氧化锌纳米纤维膜作为石英晶体微天平质量型传感器的湿敏材料,保留了纳米纤维膜的原始形貌,将其直接敷贴在电极上,这个工艺保留了纳米纤维中掺铈氧化锌纳米线的特殊排列形式会直接影响纤维的传感特性,使其具有更好更稳定的湿敏性能,克服了现有QCM质量型传感器对湿度的响应时间长的缺点,具有制备方法简单,灵敏度高,响应快、重复性好,操作简单的显著优势。

著录项

  • 公开/公告号CN105203423B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-05-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 青岛大学;

    申请/专利号CN201510724633.1

  • 申请日2015-10-29

  • 分类号G01N5/00(20060101);

  • 代理机构37105 济南诚智商标专利事务所有限公司;

  • 代理人王汝银

  • 地址 266071 山东省青岛市市南区宁夏路308号

  • 入库时间 2022-08-23 10:33:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-31

    授权

    授权

  • 2016-01-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N5/00 申请日:20151029

    实质审查的生效

  • 2016-01-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 5/00 申请日:20151029

    实质审查的生效

  • 2015-12-30

    公开

    公开

  • 2015-12-30

    公开

    公开

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