公开/公告号CN107119249B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-28
原文格式PDF
申请/专利权人 中南大学;
申请/专利号CN201710271478.1
申请日2017-04-24
分类号C23C2/00(20060101);C23C2/14(20060101);G01N1/28(20060101);G01N1/44(20060101);G01N33/20(20190101);
代理机构43114 长沙市融智专利事务所(普通合伙);
代理人邹剑峰
地址 410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号
入库时间 2022-08-23 10:32:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-28
授权
授权
2017-09-29
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C2/00 申请日:20170424
实质审查的生效
2017-09-29
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 2/00 申请日:20170424
实质审查的生效
2017-09-01
公开
公开
2017-09-01
公开
公开
2017-09-01
公开
公开
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机译: 用于制造气相沉积掩模的金属板,一种制造金属板的方法,气相沉积掩模,用于制造气相沉积掩模的方法,以及包括气相沉积掩模的气相沉积掩模装置。
机译: 具有缓冲室以控制内部温度和气体气氛的金属有机化学气相沉积装置
机译: 控制Ⅱ族金属原子气氛沉积CdTe和CdZnTe的方法