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一种气氛控制金属界面膜沉积装置及方法

摘要

本发明公开了一种气氛控制金属界面膜沉积装置及方法,包括熔炼系统、膜收集系统和气氛控制系统,熔炼系统包括熔化金属的感应炉以及控制感应炉加热温度的温度反馈单元,膜收集系统包括位于感应炉上方的基底以及控制基底升降的升降机构,气氛控制系统包括内部填充保护气体的保护气罩,所述膜收集系统及熔炼系统的感应炉均设置在所述保护气罩内。本发明可在实验室条件下模拟金属界面膜的有效沉积,并方便改变膜的沉积条件以及取样对膜进行研究,设备简单,且操作过程较少,使用方法简单,使对金属在铸造过程中自然沉积膜成分及性质研究变得可行。

著录项

  • 公开/公告号CN107119249B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-05-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中南大学;

    申请/专利号CN201710271478.1

  • 申请日2017-04-24

  • 分类号C23C2/00(20060101);C23C2/14(20060101);G01N1/28(20060101);G01N1/44(20060101);G01N33/20(20190101);

  • 代理机构43114 长沙市融智专利事务所(普通合伙);

  • 代理人邹剑峰

  • 地址 410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号

  • 入库时间 2022-08-23 10:32:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-28

    授权

    授权

  • 2017-09-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C2/00 申请日:20170424

    实质审查的生效

  • 2017-09-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 2/00 申请日:20170424

    实质审查的生效

  • 2017-09-01

    公开

    公开

  • 2017-09-01

    公开

    公开

  • 2017-09-01

    公开

    公开

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