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光学干涉仪和具有这种光学干涉仪的振动计

摘要

本发明涉及一种光学干涉仪,其具有用于射入输出光束的输出光束‑光束输入端和将输出光束分成至少一束第一部分光束和第二部分光束的分光装置,其中,干涉仪被设计外差干涉仪,具体而言,在干涉仪光路内设置至少一个光学频移器;和其中,干涉仪具有一个或多个光波导元件,利用光波导元件至少在输出光束‑光束输入端、分光装置和频移器之间形成光波导。本发明特征在于,频移器设置在第一或第二部分光束的光路内。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-17

    授权

    授权

  • 2016-04-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01H9/00 申请日:20140527

    实质审查的生效

  • 2016-04-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01H 9/00 申请日:20140527

    实质审查的生效

  • 2014-12-03

    公开

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  • 2014-12-03

    公开

    公开

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