法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-30
授权
授权
2016-05-18
实质审查的生效 IPC(主分类):C08F120/38 申请日:20151009
实质审查的生效
2016-05-18
实质审查的生效 IPC(主分类):C08F 120/38 申请日:20151009
实质审查的生效
2016-04-20
公开
公开
2016-04-20
公开
公开
机译: 包含具有光酸产生官能团和碱溶解度增强官能团的重复单元的聚合物,以及相关的光刻胶组合物和电子器件形成方法
机译: 包含具有光酸产生官能团和碱溶解度增强官能团的重复单元的聚合物,以及相关的光刻胶组合物和电子器件形成方法
机译: 具有产生光酸的官能团和增强碱溶性的官能团的聚合物单元,相关的光致抗蚀剂组合物,以及形成电子装置的方法