法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-23
授权
授权
2017-04-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C03C4/12 申请日:20161011
实质审查的生效
2017-04-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C03C 4/12 申请日:20161011
实质审查的生效
2017-03-15
公开
公开
2017-03-15
公开
公开
机译: EUV光刻术中用钛掺杂的二氧化硅玻璃制成的镜面材料用EUV空白玻璃及其制备方法
机译: 具有EU(2+)掺杂的硅酸盐荧光粉的发光物质
机译: 一种用于镜面坯料的生产方法是用钛掺杂的二氧化硅玻璃进行euv光刻,以及用于确定毛坯中缺陷位置的系统