公开/公告号CN107055460B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-07
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN201610867595.X
申请日2016-09-30
分类号
代理机构北京德恒律治知识产权代理有限公司;
代理人章社杲
地址 中国台湾新竹
入库时间 2022-08-23 10:31:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-07
授权
授权
2017-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):B81C1/00 申请日:20160930
实质审查的生效
2017-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20160930
实质审查的生效
2017-08-18
公开
公开
2017-08-18
公开
公开
2017-08-18
公开
公开
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机译: 减少MEMS器件的进行中和使用中的姿势的方法和装置
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