一种基于MOS管的双栅极调控超高灵敏度生物传感器

摘要

本发明公开了一种基于MOS管的双栅极调控超高灵敏度生物传感器，可适用于一系列早期肿瘤的检测。该传感器使用SOI片加工制备，通过离子注入技术实现了独特的双栅极控制结构。传感器由紫外光刻联合NLD刻蚀法制备而成，实现了肿瘤标志物的微量、即时、免标记检测。与常见的检测电流或电导的传感器相比，该传感器检测抗原抗体结合过程中沟道中电容的变化。本发明中涉及到的检测方法更加稳定、抗干扰性强，能满足在检测范围和敏感度方面的需求，尤在检测灵敏度方面表现极其突出，最低可以检测浓度在1fg/ml～1ng/ml范围内的样本。