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一种用于探针台的MAP图增加墨点标识的方法

摘要

本发明提供了一种用于探针台的MAP图增加墨点标识的方法,涉及集成电路测试、制造领域。本发明方法包括如下步骤:1)得到晶圆空跑出来标准的UF200原始图像数据调用MAP图文件。2)打开MAP图文件,将头文件和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来,输出到ASCII编码的《UF200.txt》模板。3)打开需要打点的MAP图文件统一格式,转换为标准的ASCII编码的《OTHER.txt》MAP文件。4)读取需要打点的ASCII编码的《OTHER.txt》文件将每个芯片的行列参数提取出来,结合其在《UF200.txt》模板的位置信息,将其还原,输出到“ink_MAP.txt”文件。5)打开“ink_MAP.txt”文件,将头文件表头和每个芯片的坐标、标识符参数提取出来生成“UF200_ink_MAP.dat”。本发明提高了设备能力和生产效率。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-19

    授权

    授权

  • 2018-06-22

    著录事项变更 IPC(主分类):H01L21/66 变更前: 变更后: 申请日:20140513

    著录事项变更

  • 2018-06-22

    著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/66 变更前: 变更后: 申请日:20140513

    著录事项变更

  • 2018-05-15

    著录事项变更 IPC(主分类):H01L21/66 变更前: 变更后: 申请日:20140513

    著录事项变更

  • 2018-05-15

    著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/66 变更前: 变更后: 申请日:20140513

    著录事项变更

  • 2018-05-15

    著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/66 变更前: 变更后: 申请日:20140513

    著录事项变更

  • 2016-09-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20140513

    实质审查的生效

  • 2016-09-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20140513

    实质审查的生效

  • 2016-09-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20140513

    实质审查的生效

  • 2016-09-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20140513

    实质审查的生效

  • 2016-08-24

    公开

    公开

  • 2016-08-24

    公开

    公开

  • 2016-08-24

    公开

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  • 2016-08-24

    公开

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