法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-08-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/50 授权公告日:20070718 申请日:20030307
专利权的终止
2007-07-18
授权
授权
2005-09-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-07-13
公开
公开
机译: 光栅固定装置具有板状的保持元件,该板状的保持元件以高度调节的方式在壳体的引导下被固定并且具有保持元件的壳体被引入到立柱内部
机译: 用于木屋的木制品墙元件,具有壁板,壁板包括圆盘状的支撑元件,并且在两侧突出在条形梁上,从而使设置在壁板两侧的表面覆盖物与梁保持一定距离。
机译: 用于化学气相沉积的半导体处理装置,包括具有圆形保持器的反应器室,该圆形保持器用于在邻近环开口的衬底保持区域上形成的圆盘状衬底