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一种束团长度诊断方法及装置

摘要

本发明公开了一种束团长度诊断方法及装置。目前针对亚皮秒量级电子束,广泛采用圆柱形或多腔结构。相较之下,本发明通过采用矩形单偏转腔工作在TM

著录项

  • 公开/公告号CN107860303B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-04-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华中科技大学;

    申请/专利号CN201710958228.5

  • 申请日2017-10-16

  • 分类号

  • 代理机构华中科技大学专利中心;

  • 代理人廖盈春

  • 地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

  • 入库时间 2022-08-23 10:30:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-12

    授权

    授权

  • 2018-04-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B7/04 申请日:20171016

    实质审查的生效

  • 2018-04-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 7/04 申请日:20171016

    实质审查的生效

  • 2018-03-30

    公开

    公开

  • 2018-03-30

    公开

    公开

  • 2018-03-30

    公开

    公开

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