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带有一个真空室和一个涂覆辊的带材涂层装置

摘要

一种具有一真空室(1)的带材涂覆装置,其在一后壁(18)与至少一个可取下的封闭板(22)之间具有一个边框(20),该边框带有一个平面的盖(10),在真空室(1)中至少具有一个导辊(12、13、14、15)和一个涂覆辊(9),该涂覆辊带有一根轴(A),还具有至少一个涂覆源(39a、39b、39c)。为了减小结构高度和宽度,并使带材运行路径易于观察和调节,并避免在涂覆辊的区域内形成颗粒,按照本发明,所述至少一个导辊(12、13、14、15)及其涂覆辊(9)的朝向封闭板(22)的端部利用带有轴承的支撑件(16、17和19)固定在盖(10)上,真空室(1)中涂覆辊(9)下面的空间没有支撑件。所述至少一个导辊(12、13、14、15)和涂覆辊(9)的远离封闭板(22)的端部支撑在后壁(18)上,或者,所述至少一个导辊(12、13、14、15)和涂覆辊(9)的远离封闭板(22)的端部支撑在后壁(18)前的支撑件上和盖(10)上。

著录项

  • 公开/公告号CN1332063C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2007-08-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 应用材料股份有限两合公司;

    申请/专利号CN200410064063.X

  • 发明设计人 S·海恩;P·斯库克;

    申请日2004-06-14

  • 分类号

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人苏娟

  • 地址 德国阿尔策瑙

  • 入库时间 2022-08-23 08:59:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2007-08-15

    授权

    授权

  • 2005-10-05

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-08-10

    公开

    公开

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