判断微机电系统装置是否气密的方法

摘要

本发明公开了一种判断一微机电系统装置是否气密的方法。该方法包含有施加至少三个电压差于该微机电系统装置的一可动元件与一感应电极间，以量测至少三个等效电容值；根据该至少三个等效电容值，计算该微机电系统装置一电容值对电压曲线及一偏移电压；以及判断该偏移电压是否落在一预设范围内，以判断该微机电系统装置为是否为气密。