可变形镜及其制造方法、眼科装置以及自适应光学系统

摘要

本发明涉及可变形镜及其制造方法、眼科装置以及自适应光学系统。提供了一种实现可变形镜的技术，所述可变形镜使用具有梳状电极结构的致动器，该可变形镜可以被相对容易地制造，并且可以在垂直于镜参考平面的两个(±)方向上移位。可变形镜(100)包括：镜基底(111)，包括反射面(110)；以及致动器(101)，包括第一致动器和第二致动器。多个致动器中的每一个经由连接部(121)连接到镜基底。第一致动器具有用于使连接部在与反射面垂直的第一方向上移位的、梳状电极结构的第一电极对(104、105)。第二致动器具有用于使连接部在与第一方向相反的第二方向上移位的、梳状电极结构的第二电极对(108、109)，第二电极对与第一电极对分开形成。