具有不同局部阈值电压的半导体开关器件

摘要

本公开的实施例涉及具有不同局部阈值电压的半导体开关器件。一种半导体器件，包括：半导体衬底，具有限定该半导体器件的有源区域的多个可开关单元；外缘；和布置在该可开关单元和该外缘之间的边缘端接区域。每个可开关单元包括本体区域、栅极电极结构和源极区域。源极金属化层与该可开关单元的源极区域形成欧姆接触。栅极金属化层与该可开关单元的栅极电极结构形成欧姆接触。该可开关单元所限定的有源区域包括至少一个具有第一阈值的第一可开关区域以及至少一个具有比第一阈值更高的第二阈值的第二可开关区域。该第一可开关区域所占的面积大于该第二可开关区域所占的面积。