超快透射电镜系统和用于其的自动采集和图像批处理方法

摘要

本发明涉及超快透射电镜系统和用于其的自动采集和图像批处理方法。一种超快透射电子显微系统包括：激光源，用于产生探测激光和激发激光；透射电子显微镜，包括电子枪、电子加速器和成像器；三维电动位移台，用于将所述激发激光引导至所述样品上；一维电动位移台，用于改变所述激发激光的光程；以及控制装置，通过接口连接到所述激光源、所述透射电子显微镜、所述三维电动位移台和所述一维电动位移台以控制其操作，所述控制装置包括：激光电子束共轴模块，用于使所述激发激光与所述探测电子束辐照在所述样品上的同一位置处；自动采集模块，用于自动采集多张透射电镜图像；以及图像批处理模块，用于对所采集的多张透射电镜图像执行批量处理。