法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-08
授权
授权
2017-06-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M15/02 申请日:20161223
实质审查的生效
2017-06-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 15/02 申请日:20161223
实质审查的生效
2017-05-24
公开
公开
2017-05-24
公开
公开
机译: 一种用于获得彼此可比的照相图像的方法,根据该方法得到的灰度楔形,得到根据辐射探测器的输出脉冲的能量分布的屏幕图像的屏幕图像的cop脉冲的次数
机译: 身体例如反射镜,一种用于微光刻设备的确定方法,包括通过探测器信号确定物体的相对位置,该探测器信号具有有关部分测量光束在探测器表面上的撞击位置的信息
机译: 产生点火信号的方法以及用于探测和点火的装置具有多个探测器