具有双文丘里流动路径的文丘里装置

摘要

本发明公开了文丘里装置和合并有所述文丘里装置的系统。所述文丘里装置具有本体，所述本体限定具有驱动区段和排放区段的通道。所述驱动区段和所述排放区段彼此间隔开一距离以限定文丘里间隙，并且二者朝向所述文丘里间隙会聚。此外，所述本体还限定第一抽吸端口和第二抽吸端口，所述第一抽吸端口和所述第二抽吸端口大致彼此相对，分别与所述文丘里间隙流体连通。所述文丘里间隙在靠近所述第一抽吸端口和所述第二抽吸端口二者处的宽度大致大于在所述第一抽吸端口和所述第二抽吸端口之间的中心点处的宽度。在系统中，所述文丘里装置使它的驱动区段流体流通到驱动压力源，并且所述第一和第二抽吸端口中的一个或二者与需要真空的装置流体连通。