电压模型RF偏置应用的大动态范围RF电压传感器和方法

摘要

本发明涉及电压模型RF偏置应用的大动态范围RF电压传感器和方法。衬底处理系统的电压传感器包括多分压器电路、钳位电路和第一和第二输出。多分压器电路接收表示在衬底的RF电压的射频信号。多分压器电路包括相应信道的分压器和根据接收到的射频信号输出第一和第二下降的电压。下降的电压小于RF电压。当RF电压大于第二预定电压或第一下降的电压大于第三预定电压时，钳位电路钳位第一下降的电压到第一预定电压。当所接收到的RF信号是在第一和第二电压范围内时，第一和第二输出分别基于第一和第二下降的电压将输出信号输出。第一预定电压是基于所述第一电压范围的最大值。