成分连续变化的钛锆金属氮化物复合硬质膜的制备方法

摘要

成分连续变化的钛锆金属氮化物复合硬质膜的制备方法，涉及一种金属膜制备方法，该方法包括沉积技术的确定、弧源靶材的确定、弧源个数的确定、待镀膜金属基体的选择与前处理、预烘烤工艺的确定、预轰击清洗工艺的确定、钛锆合金过渡层的制备工艺的确定、沉积时间的确定、与沉积时间对应的反应气体分压的控制、与沉积时间对应的弧源靶弧电流的确定、与沉积时间对应的基体负偏压的确定、镀膜室温度的控制、工件架旋转镀膜；本发明产品具有高附着力和良好的稳定性，有利于提高钛锆氮化物复合硬质膜的耐磨寿命，适合于在工业领域的应用。