一种用于反射镜光学加工原位检测的装置及使用方法

摘要

本发明公开了一种用于反射镜光学加工原位检测的装置以及使用方法，属于精密支撑技术领域；该装置的密封膜片和基板所包围的密封腔体可以充气，气压可调；密封腔体外部有膜片压模和反射镜工件共同控制膜片的包裹形状，可保证膜片对反射镜边缘的作用力沿着接触面法向；加工支撑系统由多个支撑单元构成。光学加工时，升起加工支撑系统抵消加工载荷，从而抑制加工载荷导致的镜面变形；每一轮修形完成后，降下加工支撑，调节密封腔体内的压强使得各力传感器的示数小于镜体总重力的某一较小的比例(如1％)，此时支撑垫和预埋磁铁相互吸引，约束镜体的刚体位移；打开检测光路后，可获得反射镜无重力或微重力状态下的面形精度。