氮化硅的模型配件和制造这种模型配件的方法

摘要

本发明涉及氮化硅模型配件，特别是供硅单晶的定向凝固和提拉使用的坩埚。该模型配件由总开口孔隙率为40-60体积%的Si₃N₄组成，并且模型配件的表面中超过50%的气孔的尺寸大于Si₃N₄颗粒的平均尺寸。本发明还涉及一种制造该氮化硅模型配件的方法。