在堆叠构造中具有各层的绝对位置编码器标尺

摘要

本发明涉及一种绝对位置编码器标尺，包括呈堆叠构造的第一层和第二层。读数头沿着测量轴相对于第一(顶)信号层和第二(下)信号层的空间调制图案移动，并且感测部生成一个或多个标尺感测场用以感测各信号层。高频标尺感测场可以提供第一限制感测深度，用以感测相对于顶信号层图案的位置，并且低频场可以提供第二较深感测深度，用以感测相对于下信号层图案的位置。在一些实施例中，第一层和第二层之间的绝缘层可以包括与第一层图案互补的空间调制图案，当使用第二感测深度感测相对于第二层图案的位置时抵消其信号影响。