公开/公告号CN106415803B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-29
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN201480073914.9
申请日2014-12-15
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人蔡胜有
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:25:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-29
授权
授权
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/56 申请日:20141215
实质审查的生效
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/56 申请日:20141215
实质审查的生效
2017-02-15
公开
公开
2017-02-15
公开
公开
机译: 在基底上旋涂自组装单层或周期性有机硅酸盐的系统和方法
机译: 基质上周期性有机硅自组装单分子层旋涂的系统和方法
机译: 在基材上旋涂周期性有机硅酸盐或自组装单层的系统和方法