基于光子计数的纳米管几何尺寸测量装置及方法

摘要

本发明提供了一种基于光子计数的纳米管几何尺寸测量装置及方法，具有这样的特征，测量装置包括：光束聚焦单元，包括光源以及透镜；拉曼散射单元，包括滤光构件以及第一光电转换元件；退偏振动态散射单元，包括分光棱镜、第二光电转换元件以及第三光电转换元件；以及信息分析处理单元，包括用于对电脉冲信号进行计数得到计数值的光子计数卡以及与光子计数卡连接并将计数值处理分析得到纳米管的直径和长度的计算机。本发明的基于光子计数的纳米管几何尺寸测量装置及方法将退偏振动态散射法与拉曼光谱法相结合，不仅能够弥补退偏振动态光散射测量范围不足，又能解决拉曼光谱法不能测量纳米管长度的缺点，而且测量快、成本低、精确度高。