公开/公告号CN106399935B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市华星光电技术有限公司;
申请/专利号CN201610912008.4
申请日2016-10-19
分类号C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101);H01L51/52(20060101);H01L51/56(20060101);
代理机构44265 深圳市德力知识产权代理事务所;
代理人林才桂
地址 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号
入库时间 2022-08-23 10:24:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-01
授权
授权
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/04 申请日:20161019
实质审查的生效
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20161019
实质审查的生效
2017-02-15
公开
公开
2017-02-15
公开
公开
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