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精密掩模板及大尺寸OLED显示面板辅助电极的制备方法

摘要

本发明提供一种精密掩模板及大尺寸OLED显示面板辅助电极的制备方法。该精密掩模板包括掩模本体(3)、及与掩模本体(3)的外围固定的矩形边框(5);所述掩模本体(3)划分为数个与OLED显示面板尺寸对应的蒸镀区域(31),每一蒸镀区域(31)包括呈矩阵式排列的多行多列的网格形短缝(311);一列网格形短缝(311)配合蒸镀机台的偏移用于制备一条连续的辅助电极。该精密掩模板能够有效防止在蒸镀过程中发生变形及错位,使制得的辅助电极位置精度高,连续性好,有效降低IR‑drop。

著录项

  • 公开/公告号CN106399935B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-02-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市华星光电技术有限公司;

    申请/专利号CN201610912008.4

  • 发明设计人 姜亮;吴聪原;

    申请日2016-10-19

  • 分类号C23C14/04(20060101);C23C14/24(20060101);H01L51/52(20060101);H01L51/56(20060101);

  • 代理机构44265 深圳市德力知识产权代理事务所;

  • 代理人林才桂

  • 地址 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号

  • 入库时间 2022-08-23 10:24:53

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-02-01

    授权

    授权

  • 2017-03-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/04 申请日:20161019

    实质审查的生效

  • 2017-03-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20161019

    实质审查的生效

  • 2017-02-15

    公开

    公开

  • 2017-02-15

    公开

    公开

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