具有振动元件的热流量传感器和包括至少一个该传感器的气体传感器

摘要

本发明涉及一种热流量传感器，其包括：‑支撑件（2），‑至少一个意在相对于支撑件（2）振动的元件（4），‑相对于振动元件（4）的用于所述振动元件（4）的悬挂装置（14），‑用于加热振动元件（4）的装置（10），‑用于静电激励振动元件（4）从而使振动元件以其共振频率振动的装置（8），‑用于检测振动元件（4）的共振频率变化的压电计（12）、形成用于通过焦耳效应加热振动元件（4）的装置的计量器，以及包括两个梁的悬挂装置（14），所述两个梁由纳米线形成从而减小从振动元件朝向支撑件的热量损失。