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一种用于极紫外光源的电源中磁脉冲压缩网络的电路参数的获得方法

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一种用于极紫外光源的电源中磁脉冲压缩网络的电路参数的获得方法，涉及毛细管放电极紫外光刻光源中主脉冲电源的脉冲压缩技术。第n‑1级和第n级磁脉冲压缩单元的电流脉冲宽度之比即脉冲压缩比g

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公开/公告号CN106066923B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-08

原文格式PDF
申请/专利权人哈尔滨工业大学;
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申请/专利号CN201610458140.2
发明设计人王骐;吕鹏;徐强;赵永蓬;
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申请日2016-06-22
分类号
代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所;
代理人岳泉清
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
入库时间 2022-08-23 10:23:06

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-01-08

授权

授权
2016-11-30

实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20160622

实质审查的生效
2016-11-30

实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 17/50 申请日:20160622

实质审查的生效
2016-11-02

公开

公开
2016-11-02

公开

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1. 一种用于极紫外光源的电源中磁脉冲压缩网络的电路参数的获得方法 [P] . 中国专利： CN106066923B . 2019.01.08
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