微型高分辨率光谱仪

摘要

本发明涉及一种微型高分辨率光谱仪，所述光谱仪包括：狭缝、准直透镜、棱镜、会聚透镜、线阵或面阵CCD传感器、反射镜组和法珀腔，其中：所述反射镜组使用两面反射镜，与法珀腔构成一循环光路系统，两面反射镜将法珀腔反射回来的光再次收集，使之重新反射至法珀腔，如此循环利用，实现更高的能量利用率。本发明利用法珀腔获得分辨率极高的光谱，通过设计循环光路系统，产生一系列不同入射角的光，经过法珀腔和会聚镜聚焦后，在探测面上产生一系列不同波长的分立的光谱输出，实现多波长通道的光谱测量。本发明不需要扫描，简化了机构，缩小了体积，提高了光谱测量系统的稳定性，又提高了测量速度。